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          你知道等離子設備通入Ar的作用嗎?
          來源:www.bolugergitavan.com 發布時間:2021年07月22日

          你知道等離子設備通入Ar的作用嗎?

          等離子清洗機清洗物體前,先對洗滌對象和污物進行分析,然后選擇氣體。一般而言,等離子清洗機中的氣體進入主要有兩個目的。依據等離子作用原理,可將氣體分為兩類,一類是氫、氧等反應性氣體,其中氫通常被用來洗滌金屬表面的氧化物,然后進行還原。等離子清洗機的氧氣通常用于的洗滌物體表層的有機物和氧化反應。

          等離子洗機在的洗滌表層氧化物時使用純氫或許效率高,但這里通常要考慮電離的穩定性和安全性,在使用電漿清洗機時選擇氬氫以混合比較合適,另外對村料易氧化或易還原的電漿清洗機也可采用顛倒氧氣和氬氫氣體的的洗滌順序,以達到洗滌的主要目的。
          Ar是惰性氣體,電離引發的離子體不與基材發生化學反應,通常用于等離子清洗機基材表面及表面表面進行物理清洗和表面鈍化處理,特點是表層清洗不會造成精密電子設備表面的氧化。因此,氬等離子清洗機廣泛應用于半導體、微電子、晶片制造等行業。在去除晶圓、玻璃等產品表層的進程中,通常使用Ar等離子轟擊表層,以達到分散和松動(脫離基材表層)的成效,特別是在半導體封裝進程中,為了防止線路氧化,所有這些都使用氬等離子或氬氫等離子進行表層的洗滌。
          在等離子清洗機的活化過程中,一般采用混合方式進行工藝,以取得較好的效果。由于Ar的分子較大,電離后引發的顆粒較大,在進行表層的洗滌和活化時,通常與活性氣體以混合使用,最常見的是Ar與氧氣的以混合。氧為高活性氣體,能有效地對有機雜物或基材表層進行化學分解,但其顆粒相對較小,斷鍵和轟擊力有限,如果加上一定比例的Ar,則引發的等離子對有機雜物或有機基材表層的斷鍵和分解能力會更強,從而加大的洗滌和活化的效率。
          等離子清洗機處理過程中,Ar與H2以混合使用,除了增加焊盤附著力外,還能有效去除焊盤表層的有機雜物,還能還原表層的輕微氧化,廣泛應用于半導體封裝和SMT等行業。
          等離子清洗機的表層鈍化處理又被稱為表層腐燭,其主要目的就是:加大村料表層的附著力,以增加粘接、印刷、焊接等工藝的結合力,電漿清洗機處理后的表面張力會明顯提高。電漿引發的電漿也能增加表層的附著力,但是電漿引發的電漿相對較重,電漿在電場的作用下的動能會明顯高于電漿,因此其附著力成效會更明顯,在無機電漿表層鈍化處理工藝中應用最為廣泛。例如玻璃基材表面處理,金屬基材表面處理等。

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